本文標題："切割黃銅進料方向粗糙度達1.5mm-粗糙度測量顯微鏡"
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長32mm、寬25mm、高30.5mm之精微車床，重量僅100g ，包含有摩擦驅動線環系統，
主要軸器具由微形馬達及刀架驅動，使用修正線環形態之精微滑塊。滑塊受摩擦導引及支撐，
定位解析度25nm，利用驅動圖案佳化，雖有逐步進料動作，
平滑進料可達400mm/s，主軸馬達額定動力僅為1.5Watt，旋轉速度可達10,000rpm。
精微車床于進料方向可切割黃銅，進料方向粗糙度達1.5mm。
機器包含X-Y階段及Z軸驅動單元支撐心軸單元，Z軸驅動單元使用中空驅動螺旋，利用直接驅動交流(AC)馬達驅動，
心軸與驅動螺旋于線上配置，直徑27nm之心軸額定率80Watt，
可提供大轉速300,000rpm，心軸末端支撐一直接加工1mm筒夾之銑削工具。高心軸旋轉、
高進料速率及小切割深度可降低加工力，利用全面密閉環路數位伺服系統可控制移動，
得到解析度50nm之線性規模回饋訊號。
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