本文標題："腐蝕金屬薄膜進行高效顯微透視試驗"
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腐蝕金屬薄膜進行高效顯微透視試驗
祀薄膜復制品的檢驗指出:暇化膜由于絕緣擊穿而出現
破裂。薄膜的火花源質譜分析表明，雖然含碳比預料的稍
高，似并未發現其它明顯的元素、試驗證明，在氧化硅荃片
上沉積坦薄膜，然后將撰片全部腐蝕掉，只剩下一層擔薄膜
作為透射電子束的檢視。在100000 x的放大下，可觀察薄膜
的較薄部分有其它夾雜物質，也就是在低電悵下容易被擊穿
的物質，見圖4-14。電子衍射圖形喪明，雜質就是擔碳化物，
它的形成是山于真空泵油倒流進入濺射室，這類碳戴化合物。
與高度活潑的鈕離子進行濺射，并采用等離子體放電反應。
為此，必需改進工藝，使泵油的倒流減至小。從上述
問題說明，環境控制不僅有正常大氣下的控制問題，也有對
真空環境控制的問題。
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