本文標題："試樣的深度X射線分辨率取決于元素的原子序數(shù)"
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試樣的深度X射線分辨率取決于元素的原子序數(shù)
電子射入一定試樣的深度也就是電子束電壓的函數(shù)，利用這
種特性，可探知大塊基本材料分布的表面濃度，同樣可以使處在
很薄的。
表層，例如電鍍層、薄膜以及銹蝕層下的材料也能探測出來。
深度的判別只能是定性的，除非具有很大范圍和經(jīng)過校準的標度，
清楚地了解表面沉積物的性質(zhì)，才能進行準確的深度鑒別。
空間分辨率取決于試樣的性質(zhì)、所用加速電壓以及對電子信
號的利用，而不取決于電子轟擊下試樣所發(fā)射的X射線。電子束
被聚焦到直徑只有0.8微米大小的光點，并以此直徑散射出來。另
一方面，X射線是從被探測物質(zhì)元素的某一體積發(fā)出，在該體積
中浸射電子由于碰撞而有足夠的能量交換，從而產(chǎn)生特定的X射
線。X射線的分辨率取決于元素的原子序數(shù)，或樣品的平均電子
密度。
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