本文標(biāo)題："微電化學(xué)加工和微鉆孔加工簡(jiǎn)介-顯微鏡百科"
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微電化學(xué)加工和微鉆孔加工簡(jiǎn)介-顯微鏡百科
實(shí)驗(yàn)室的研究方向主要為微電化學(xué)加工、
太陽(yáng)能與電解水產(chǎn)氫與彩色濾光片涂布。目前的研究成果如下：
微電化學(xué)加工
◎微電極制作
不同于一般的電化學(xué)加工是以刀具在金屬表面上加工出所需的外型，微電極制作乃
是將正負(fù)極反接，利用電化學(xué)反應(yīng)來加工刀具，將所加工出來的刀具應(yīng)用于各種顯微鏡及加工電極上。
◎微鉆孔加工
利用前述所制作之微電極，配合高脈沖頻率之電源供應(yīng)器與磁場(chǎng)進(jìn)行微鉆孔加工，
以達(dá)到為精確的尺寸。
◎P型矽基板加工
有別于一般半導(dǎo)體制程，本研究是以P型矽基??板做為陽(yáng)極，
碳化鎢線材為陰極且配合氫氟酸電解液，利用電化學(xué)技術(shù)來進(jìn)行加工
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