本文標題："增加電極容積，提高傳導率-金屬研究顯微鏡"

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增加電極容積，提高傳導率-金屬研究顯微鏡

硅晶太陽能芯片于傳統(tǒng)電極涂布時為單層涂布，電極寬度需要較寬，
以便獲得足夠之截面積，提供電流通過。然而，為了改善現(xiàn)有制程，提高
太陽能電池的轉換效能，因而開始發(fā)展新型的電池制程，將電極寬度變
窄，以便增加硅晶涂布的面積，但是電極截面積需要保持不變，甚至增加，
以便維持相同或更多電流通過。其方式為將原本的單次涂布增

加為兩次涂布，以增加電極容積，提高傳導率。但由于兩次涂
布會產(chǎn)生輪廓對位誤差，超出允許的誤差過大，因而需要發(fā)展新的線上檢
測與誤差補償技術，以便降低兩次涂布之誤差。
本研究的目的為開發(fā)硅晶太陽能芯片制程中，兩次電極涂布之對位誤
差補償技術，并配合資料庫系統(tǒng)以方便存取資料。另外，針對實驗精度進
行分析與探討，
 

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