本文標(biāo)題："長、短焦距皆可量測。缺點(diǎn)是元件的尺寸太小"

使用云紋干涉

法所得到的焦距其精準(zhǔn)度仍然不足，以致無法精確測得因蝕刻誤差

所造成焦距的改變，原因是用云紋干涉法量測八階微透鏡時，不易

分辨出移動微透鏡前后的干涉條紋變化，因此造成所量測的結(jié)果會

有很大的誤差

云紋干涉法

　　云紋干涉法的架設(shè)量測系統(tǒng)如圖 4-10 所示，使用的光源為氦氖

雷射，將雷射光導(dǎo)入物鏡與透鏡以建立準(zhǔn)直均勻之光束，一半光源

打在光柵(grating)上，一半打在平面鏡上，而光柵與平面鏡之間的夾

角為 90 度角，再調(diào)整平面鏡使其有一個傾斜角α，此時兩道光源會

加以干涉形成一束干涉條紋光，用電荷耦合元件來擷取干涉條紋

之后在此干涉條紋光源上放置欲量測的透鏡，會得到另一種干涉條

紋，在光軸上前后移動量測的透鏡±ε的距離，又會得到第二種干涉

條紋，用此三種干涉條紋結(jié)果即可計(jì)算出此透鏡的焦距。對長焦距

而言，擷取焦距內(nèi)的干涉條紋[26]﹔對短焦距而言

云紋干涉法對于長、短焦距皆可量測。缺點(diǎn)是元件的尺寸太小，

便無法判斷干涉條紋的變化，也就無法精準(zhǔn)地算出其焦距﹔所以我

們要將這種方法加以修正以便得到較密的干涉條紋(如圖 4-11)。我

們所設(shè)計(jì)的八階微透鏡由于尺寸太小，對于原先的方法無法分辨出

移動前后的干涉條紋變化，所以要用改良后的干涉方法量測八階微

透鏡

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長、短焦距皆可量測。缺點(diǎn)是元件的尺寸太小,熒光顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)