本文標(biāo)題："鍍層和基體截面金相顯微成象視頻顯微鏡"
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分析材料（包括鍍層和基體）表面的氧化層和吸附物
，這對(duì)于認(rèn)識(shí)薄膜沉積過程機(jī)理，改進(jìn)鍍膜工藝，都是
反很有用的。
上述三種分析方法盡管提供了關(guān)于鍍層化學(xué)深度分布
的有用信息，但卻末能給出元素分布和空間形貌的直觀
結(jié)合，因而不易弄清所得數(shù)據(jù)的物理實(shí)質(zhì)，為了解決這
個(gè)問題，不僅要求成分分析有較高的空間分辨率和靈敏
度，而且還須得到對(duì)應(yīng)的顯微成象，
目前，盡管已經(jīng)發(fā)展了俄歇電子和二次離子成象，但其
清晰的程度遠(yuǎn)不如掃描電鏡，因此，用能譜分析和掃描
電鏡結(jié)合起來的研究方法，就顯示了其優(yōu)越性，且能研
究較粗糙的表面，例如斷口，其分析速度也較快。
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